[00094539]阳极氧化铝模板孔洞形状渐变的调制方法
联系人： 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
所在地： 江苏苏州市
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技术详细介绍
本发明揭示了一种阳极氧化铝模板孔洞形状渐变的调制方法，包括步骤：I、去除经退火处理或未处理的铝箔表面油脂及污物，再经电化学抛光处理后备用；II、采用电化学氧化法或硬质模板机械压坑法在铝箔表面形成凹坑图案；III、将表面有凹坑图案的铝箔在酸性电解液下非连续性地氧化与扩孔，通过电解液组成、电解液温度、氧化电压、氧化与扩孔次数、氧化与扩孔时间的组合控制形成各种三维渐变型氧化铝纳米孔阵列结构。该调制方法使用现成的设备，实施简单，可以低成本大面积制造各种三维渐变形状可调的多孔阳极氧化铝模板。
