[00094629]法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法
交易价格： 面议
所属行业： 其他电气自动化
类型： 发明专利
技术成熟度： 正在研发
专利所属地：中国
专利号：200710096596.5
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股 完全转让 完全转让
技术详细介绍
法布里-珀罗型光纤压力传感器，由单晶硅片、玻璃圆管、光纤法兰盘和光纤插头构成，其特征是：单晶硅片与玻璃圆管的一个端口通过阳极键合工艺结合；玻璃圆管另一端的侧壁与光纤法兰盘的凹槽粘结。光纤插头连接到光纤法兰盘上，光纤插头上的陶瓷插针与单晶硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了制作该传感器的方法，主要步骤为：将切割后的玻璃管与硅片放在键合炉上使其键合；在玻璃管的外壁涂上环氧树脂后将其粘接到光纤法兰盘的凹槽内；将光纤插头旋接于光纤法兰盘；光纤插头上的陶瓷插针与单晶硅片上的下表面形成法布里-珀罗腔。本发明制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好。
