[00094655]光纤微电子机械系统压力传感器及其复用结构
技术详细介绍
本发明主要用于绝对、相对压力的测量，所述传感器中端面抛光的光纤（13）的抛光端面与硼硅玻璃衬底（12）相接，其连接表的外端由光固化环氧树脂（16）连接；在硼硅玻璃衬底上为单晶硅膜（14），在单晶硅膜中央的下部与硼硅玻璃衬底之间设有一个空腔即：法布里—珀罗腔（15）。其复用结构宽带光源（1）和可调谐滤波器控制器（4）与可调谐滤波器（2）相接，阵列波导光栅的输出端通过光纤适配器（5）、光单向隔离器（7）、光纤耦合器（6）分别接光电探测器、传感器，通过检测传感器的法布里—珀罗腔的腔长的变化测量单晶硅膜受到的压力大小。
