[00094697]平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法
技术详细介绍
本发明公开了一种平移式微焦CT检测装置在线检测电子元件的方法，检测开始后，射线产生装置产生的锥形射线束对电子元件进行扫描，射线探测及数据采集装置获得射线投影数据，然后传送给控制及图像处理系统成像，包括数字式辐射成像DR和计算机层析成像CT。计算机层析成像时，根据平移式锥束射线扫描获得的不完全投影数据，采用本发明提出的基于子区域平均化和总变差最小化的平移式锥束CT迭代重建算法重建CT图像，可获得高质量三维CT图像。本发明用于对生产线上的电子元件进行高精度在线检测，可对电子元件的内外结构进行放大DR成像和三维CT成像；装置结构简单，扫描效率高；能有效检测电子元件的材质缺陷及装配缺陷。
