[00095238]一种纳米压印机
技术详细介绍
一种纳米压印机
本发明公开了一种纳米压印机，包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。本发明提供的纳米压印机充分利用高压仓内的压力气体保证压印模板压入平衡、均匀；通过调平装置可以保证压印模板和压印基板的平整性；本发明结构简单、成本低，适合推广应用。?
一种纳米压印机
本发明公开了一种纳米压印机，包括真空腔（2）、安装在真空腔（2）内底部的高压仓（7）、高压仓（7）上依次设有调平装置（6）、加热盘（5）和载物台（4），载物台（4）上端还设有承压板（3）。本发明提供的纳米压印机充分利用高压仓内的压力气体保证压印模板压入平衡、均匀；通过调平装置可以保证压印模板和压印基板的平整性；本发明结构简单、成本低，适合推广应用。?
