[00096007]一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件及其制备方法
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件，由下至上依次包括硅衬底、绝缘层、下电极、第I氮化铝薄膜层、中间电极、第II氮化铝薄膜层和上电极，所述第I氮化铝薄膜层和第II氮化铝薄膜层的C轴与硅衬底(1)倾斜且两者倾斜方向相反；其中硅衬底厚度为300～700um，所述绝缘层为二氧化硅层，其厚度为250-350nm，下电极材质为Mo或Ti/Pt，中间电极材质为Ir或Mo，下电极和中间电极层两者厚度均为120～160nm；所述上电极材质为Al，其厚度为1000～1200nm。本发明创造性的提出了具有双层C轴倾斜AlN压电薄膜层结构，在液相工作环境下，该结构可以大幅提高传感器的灵敏度，实现薄膜体声波器件的双向通信并缩小其体积。
