[00096109]一体式六自由度精密定位平台
技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种一体式六自由度精密定位平台，包括基座、下平台组件、中间平台组件和上平台组件，本发明采用压电陶瓷制动器使下平台组件实现沿坐标系X和Y方向的直线移动，中间平台组件实现沿坐标系Z方向的直线移动和绕与X轴平行的轴和与Y轴平行轴的旋转摆动，上平台组件实现绕Z轴的转动；能够实现在六个自由度上的精确控制定位，且中间平台组件和下平台组件设计为对称结构，有效消除了轴间位移耦合，同时，该传动平台能实现一体加工，用压电陶瓷驱动器驱动，具备无摩擦、无耦合、高精度、大行程、高分辨率等优点，能够满足纳米科学技术研究中复杂的加工和操作要求。
