[00096143]一种具有连续振幅和相位调控的亚波长孔结构阵列
技术详细介绍
摘要：本发明涉及一种连续振幅和相位调控的亚波长孔结构阵列，它由金属材料膜和位于金属材料膜内的若干个双层孔结构单元构成。双层孔结构单元是由在金属膜内制作的上层孔和下层孔组成，上层孔和下层孔为同轴通孔；上层孔的上端面与金属膜层上表面重合，下层孔的下端面与金属膜层下表面重合；对给定波长电磁波，可以通过改变上层孔直径、深度和下层孔直径、深度来调节双层孔结构单元的等效折射率；进而实现在一定范围内的振幅和相位连续调控。可以根据需要，在平面上采用多个双层孔结构单元（即双层孔结构阵列），实现平面空间内振幅、相位分布的连续调控。同时，可以通过在双层孔结构内填充介质材料，进一步改善双层孔结构单元的振幅和相位调节功能。
