[00098342]集成光源管芯及模块制作技术

DFB EA集成光源同时兼有DFB激光器单模特性好、窄线宽和EA调制器高调制速率速、低啁啾的优点，是干线光纤通信系统的关键器件。从国际发展趋势来看，调制速率为10Gb/sDFB EA集成光源已逐步走向成熟和实用化，正在逐步替代2.5Gb/s产品。因而，10Gb/s集成光源的市场广阔，竞争也异常激烈。国内光纤干线系统的传输速率正在向10Gb/s升级，而系统中的光源主要依靠进口。针对这一状况，该成果提出具有自主知识产权的集成器件结构设计，解决了一系列关键性科学问题，开发出一整套面向批量化生产的集成光源管芯制作工艺以及高速模块封装测试技术，制作出性能指标可以满足10Gb/s光纤通信系统应用要求的集成器件模块。该研究成果是国内首次研制成功的10Gb/sDFB EA集成光源。测试结果表明，该集成光源管芯及其模块的特性指标已经达到国际同类产品水平，使中国集成光源研究上了一个新台阶。这一成果将极大推动高速集成光源的国产化，并有力促进中国在光电子集成器件领域的发展。如果该成果能够尽快应用推广，实现规模化生产，则有望替代国外同类产品，占领国内市场。该成果开发的一整套集成光源管芯及模块的生产工艺技术已经达到中试水平。根据目前的技术水平，在资金和设备投入充分的条件下，有望迅速实现集成器件的规模化生产。随着中国光纤通信网络的发展，该成果将具有良好的应用前景和可观的经济效益。国际市场上10Gb/sDFB EA集成光源的市场价格较高，平均每支发射模块的价格在1000美金左右，利润空间较大，因此该成果的应用将带来十分良好的市场回报。该成果的开发主要依托于清华大学集成光电子学国家重点实验室，已基该具备了材料外延、管芯制作与封装测试的工艺技术手段，拥有接触式光刻机、干法刻蚀设备、电极蒸发设备、半导体激光器测试系统、矢量网络分析仪以及微波探针台等关键仪器，具备了进行小批量生产的能力。开发出的10Gb/sDFB＋EA集成光源是干线光纤通信系统中的关键器件，正在积极地进行推广应用。合作方式：产品开发合作。