国外厂商生产的压力变送器中使用的MEMS压力传感器主要有压阻式和电容式2种结构,以压阻式结构居多。压阻式传感器应用非常广泛。国内很多厂商依靠进口压阻式传感器,设汁制造国产变送器。压阻式传感器技术成熟,很适合国产化研制。但是,压阻式传感器容易受温度、湿度等环境因素影响,而且,静压特性依赖工艺水平,无法得到保证,现需有关专家帮助解决这个问题。
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