（2025年蚌埠市智能传感产业“揭榜挂帅”项目榜单） 需求内容：1.直线电机电磁场仿真设计:从动静子材料选取、结构参数设计、电磁设计计算、工艺实现方案等方面出发，缩小整机体积，降低结构重量，提高磁路饱和度和线圈载流能力。2.MEMS三维电感制备工艺:开展MEMS深槽刻蚀工艺、硅硅晶圆键合工艺和超高深宽比电镀工艺技术攻关，实现高密度三维电感制备。 预期目标：攻克深槽刻蚀工艺、硅硅晶圆键合工艺和超高深宽比电镀工艺等关键技术，研制基于MEMS三维电感的电磁电动机原型机。1.电机样机重量≤200mg；2.电机整机尺寸≤3mm×3mm×3mm，运动行程≥1mm；3.输出推力≥10mN。 发榜金额：200万元。 完成时限：2026年12月。
【需求单位】：安徽华鑫微纳集成电路有限公司
【需求所在省市】：安徽省/蚌埠市
【需求类型】：技术
【需求技术领域】：高端装备制造
【合作方式】：其他
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