基于深紫外激光的各类半导体设备是集成电路芯片先进工艺制程中不可或缺的关键设备。比如，采用深紫外激光光源的无图形晶圆缺陷检测设备，是硅晶圆片生产制造企业、芯片制造企业必需的核心检测设备之一，应用于裸晶圆、以及扩散、沉积、掩模、光刻、离子注入等多个工艺步骤后的晶圆表面颗粒物等缺陷检测，从而确保每道工序的良率。而目前这类设备被美国所完全垄断。深紫外激光光源是这类设备的核心部件，目前也被国外所垄断，并且对我国实施封锁。我国发展芯片先进制程，在关键检测设备及核心部件领域被严重“卡脖子”。
【需求单位】：安徽华创鸿度光电科技有限公司
【需求所在省市】：安徽省/合肥市
【需求类型】：其他
【需求技术领域】：高端装备制造
【合作方式】：技术开发
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