随着5G通信、新能源汽车和光伏逆变器等应用的需求推动下,第三代半导体材料主要以碳化硅、氮化镓为代表的半导体材料更适合于制作高温、高频、大功率及抗辐射器件,可广泛应用射频通信、雷达、卫星、汽车电子、工业电力电子等领域。 第三代半导体材料加工难度极大。以碳化硅为例,其莫氏硬度为9.5,化学稳定性高。晶体SiC还需要用抛光垫配合抛光液,抛光之后获得平坦光滑的衬底表面工艺,才能成为器件制造前的衬底材料。 聚氨酯可制成抛光材料,具有硬度可调,耐酸碱,耐磨等优点。而化学机械抛光技术中,抛光垫需要与晶圆进行摩擦,同时在酸性或碱性的抛光环境下保持稳定的性能,要满足这些特性,采用聚氨酯制备抛光垫的最佳选择之一。聚氨酯抛光垫根据抛光工序可分为粗抛垫和精抛垫,粗抛垫又分为SUABTM垫和发泡硬垫,目前全球生产硅片抛光垫的企业主要是陶氏,FOJIBO等其垄断了集成电路领域所需要抛光垫的近80%的市场份额。但随着第三代半导体的发展,适用于硅片抛光的抛光耗材不适用与第三代半导体的平坦化,因此亟需开发用于第三代半导体材料的化学机械抛光材料。因为专利壁垒,代表未来趋势的12英寸晶圆用的开窗口抛光垫专利被美国公司占有。 希望达到目标 合成机理深化:研究异氰酸酯(MDI/TDI/HDI)与多元醇(聚醚/聚酯型)的NCO/OH摩尔比对预聚体端基活性的影响,建立动力学模型。 功能化改性:引入硅烷偶联剂、含氟链段或纳米粒子,提升预聚体的热稳定性与界面相容性。 工艺优化:采用正交实验设计,调控反应温度、催化剂及真空脱水条件,降低游离单体残留。 表征体系:结合FTIR追踪-NCO特征峰(2270 cm⁻¹)、GPC分析分子量分布(PDI<1.5)、流变测试评估粘度-温度依赖性。
【社会信用代码】:0000000
【单位联系人】:黄庆阳
【手机号码】:19942546402
【需求单位】:安徽禾臣新材料有限公司
【需求所在省市】:安徽省/马鞍山市
【需求类型】:技术
【需求技术领域】:新材料
【合作方式】:技术开发,技术转让,其他
【投入金额(万元):面议万元
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